MEMS-генераторы

MEMS-генераторы и резонаторы на основе механических структур, вытравленных на кремниевой подложке, можно смело назвать мечтой любого исследователя, грезящего о превосходном качестве, надежности и малых габаритах приборов своей лаборатории. Однако стабильность частоты и стоимость корпусирования таких устройств долго оставались барьером для их успешного коммерческого внедрения, пока SiTime не изобрела технологии EpiSeal и MEMS First. Только благодаря этим технологиям стало возможным производить на CMOS-фабриках в огромных количествах MEMS-резонаторы, которые по размерам в 1000 раз меньше кварцевых резонаторов.